由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,消音室,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室
工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时,消音室生产厂家,宜将其置于工作区气流的上风侧,以提高室内的空气洁净度。洁净室内有通风柜时,消音室厂,宜置于工作区气流的下风侧,以减少对室内的污染。一般情况下,净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。
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